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- 2023-04-09 发布于北京
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本实用新型公开了一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆。本实用新型结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215478248 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202023309924.X
(22)申请日 2020.12.30
(73)专利权人 安徽睿芯半导体科技有限公司
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