一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机.pdf

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一种移动高精度视觉掩膜曝光一体机，包括多维度机械臂、平行光源、导光组件和CCD定位系统，导光组件为立体结构的导光体、平面结构的玻璃铬板或光学材料的掩膜，或者为导光体与玻璃铬板或导光体与掩膜的组合；导光体具有相对设置的导入光面和导出光面，平行光源产生的平行光经导入光面射入导光体，然后经导出光面平行射出；当导光组件为导光体时，导光体的导入光面与导出光面分别根据需要曝光的图像加工成相应形状；当导光组件为导光体与玻璃铬板或导光体与掩膜的组合时，导光体贴附连接在平行光源的出光面上，玻璃铬板或掩膜对应贴附连

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215494542 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121646083.3 (22)申请日 2021.07.19 (73)专利权人惠州市七泉智能科技有限公司