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本实用新型涉及层流罩技术领域,公开一种模块化层流罩,包括:箱体,箱体的下端敞开且其底面与吊顶板的下平面平齐,箱体与吊顶板密封连接,箱体的上方设有进风口;风机过滤组件,其上设有检测口,风机过滤组件的进口与进风口连通,风机过滤组件的出口通过箱体的敞开端与洁净室连通;检测板,其固定在墙面上,检测板上设有与检测口连通的连接口,检测板被配置为检测气体的压力。本实用新型公开的模块化层流罩的箱体集成在吊顶板上,模块化层流罩吹出的气体能够顺利地进入洁净室,同时模块化层流罩位于吊顶板的上方,使得模块化层流罩的高度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215490266 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121830735.9
(22)申请日 2021.08.06
(73)专利权人 上海朗脉洁净技术股份有限公司
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