一种硅棒晶向角度调节装置.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种硅棒晶向角度调节装置.pdf

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本实用新型提供一种硅棒晶向角度调节装置，包括：底座，以及安装于所述底座上并用于承载晶棒的载台，还包括：安装于所述底座上的调节机构；通过在底座上转动安装用于粘接晶棒的载台，并在底座上设置与载台偏心铰接的调节机构，通过手动转动调节机构以带动载台进行水平转动，配合刻度实现载台安装角度的精准微调，进而实现晶棒粘接角度的微量可调，满足切割后硅片晶向度数的严格要求，操作简化的同时精度大大提高，解决了现有技术中晶棒粘接角度调节不便、精确度差、无法满足切割要求等技术问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215472273 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202122058302.2 (22)申请日 2021.08.30 (73)专利权人浙江中晶科技股份有限公司