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一种用于硅片检测的组合光源.pdfVIP

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  • 2023-04-10 发布于北京
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一种用于硅片检测的组合光源.pdf

    本实用新型涉及一种用于硅片检测的组合光源，包括底座，底座上可旋转设置有多个光源装置，光源装置内设置有发光源，发光源采用三色线偏振光源。本实用新型所述的一种用于硅片检测的组合光源，三色线偏振光源实现了三种颜色的独立控制，这样颜色实现了自由组合和256灰度等级调节，避免了人工频繁更换测试环境；并且光源装置实现了旋转调节，因此实现了光域大小的调节，很好的兼容了不同规格太阳能硅片的缺陷检测，大大提高了产线的检测效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215493105 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121688383.8 (22)申请日 2021.07.23 (73)专利权人 浙江华周智能装备有限公司

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