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本实用新型提供了一种试料抓取结构及试料基座,涉及真空镀膜技术领域,所述试料抓取结构包括试料抓手和试料盘,试料抓手上设有抓取钩,试料盘上设有与抓取钩相适配的对接钩,抓取钩适于与对接钩相套对接以限制试料抓手相对试料盘滑动,试料盘内适于放置试料基片。本实用新型的试料抓取结构,通过在试料抓手上设抓取钩,在试料盘上设对接钩,抓取钩与对接钩之间通过旋转对接锁紧,相较于现有真空吸拿和电磁吸拿抓手相比,抓取牢靠,不易脱钩,稳定性更好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215481244 U
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202121616569.2
(22)申请日 2021.07.15
(73)专利权人 宁波天德创新智能科技有限公司
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