晶圆电镀设备自动上下料装置定圆心及检测机构.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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晶圆电镀设备自动上下料装置定圆心及检测机构.pdf

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本实用新型是晶圆电镀设备自动上下料装置定圆心及检测机构，其结构是安装座中心设转轴，转轴底端连接安装座内的转动驱动装置，转轴顶端连接转盘，转盘两侧对应设有内侧呈弧形的收拢爪，收拢爪安装在移动杆顶端，移动杆底端连接安装座内的平移驱动装置，两侧收拢爪之间的转盘的另一侧面设光电感应器，光电感应器通过安装杆安装在安装座上。本实用新型的优点：转盘带动晶圆转动，两侧收拢爪向内收拢对晶圆进行限位定圆心，有助于自动上下料机构取放晶圆片，可保证位置准确性，同时光电感应器可对晶圆表面进行检测是否有破损，还可检测特殊晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215481367 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202121786742.3 (22)申请日 2021.08.02 (73)专利权人无锡吉智芯半导体科技有限公司