一种用于砷化镓抛光片的取放工装.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种用于砷化镓抛光片的取放工装.pdf

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本实用新型涉及砷化镓加工技术领域，且公开了一种用于砷化镓抛光片的取放工装，包括数量为两个的连接臂，上下两个所述连接臂通过连接轴活动连接，所述连接臂的右侧固定安装有把手，所述连接臂的左侧套接有固定框。该用于砷化镓抛光片的取放工装，通过设置夹板和弧形板，夹取砷化镓抛光片的时候，两个连接臂的左侧向相对侧夹紧，由于第二弹簧的张力会挤压凸块固定住弧形板，使其一直与挡块处于接触的状态，挡块卡住弧形板，夹住抛光片后不需要持续的对其施加力，也依然能夹紧抛光片，第一弹簧的压缩和海绵垫的作用使得取放装置对抛光片的作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215510631 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202022225170.3 (22)申请日 2020.10.09 (73)专利权人浙江康鹏半导体有限公司