适用于Taiko晶圆的前开式晶圆传送盒.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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适用于Taiko晶圆的前开式晶圆传送盒.pdf

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本实用新型公开了一种适用于Taiko晶圆的前开式晶圆传送盒，其包括盒体和前门，所述前门上安装有排骨条，所述盒体的内腔中安装有晶圆支撑架，所述晶圆支撑架具有多组支撑脚，每组支撑脚由左右两个支撑脚构成，相邻两组支撑脚之间形成的插槽在竖直方向上的间距为20mm，且晶圆支撑架最下面一组支撑脚形成的支撑面与盒体的内腔底部在竖直方向上的间距大于或等于14mm，每个支撑脚远离开口的一端形成有限位块，位于插槽中的晶圆抵靠在限位块上，所述限位块使所述晶圆与所述排骨条之间的距离为1mm‑2mm。本实用新型可以保证机

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215514686 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202120779216.8 (22)申请日 2021.04.16 (73)专利权人华虹半导体（无锡）有限公司