一种电子级TFT显影液用喷淋装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于四川
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一种电子级TFT显影液用喷淋装置.pdf

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本实用新型公开了一种电子级TFT显影液用喷淋装置，涉及喷淋装置领域，针对现有的显影液二次利用的同时，不可避免的会混入垃圾杂质，在二次利用的时候不能将其进行过滤清洁的问题，现提出如下方案，其包括安装凹槽，所述安装凹槽呈空心圆柱体，且所述安装凹槽底端固定连接有安装块，所述安装块底端固定连接有第一螺纹块，且所述安装块与第一螺纹块均呈中空环状，所述安装块与安装凹槽相连通，且所述安装凹槽顶端转动安装有喷淋机构，所述安装凹槽圆周内壁固定安装有安装环。本实用新型结构新颖，且该装置能够对二次利用的显影液内的杂质

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215542111 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202121276151.1 B01D 29/64 (2006.01)