一种真空管路废气吸附装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于四川
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一种真空管路废气吸附装置.pdf

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本实用新型公开了一种真空管路废气吸附装置，包括装置本体，装置本体外侧靠近其底部的位置设置有与之内表面连通的进气接头，装置本体的顶部中间位置设置有与之内表面连通的出气接头，装置本体内表面底部设置有多个同心且截面为未封闭式的圆环吸附筛网筒，装置本体内表面底部位于圆环吸附筛网筒的缺口处还设置有挡板，且相邻的连个圆环吸附筛网筒的缺口处的一侧交替与挡板贴合形成一个S型的气流通道；本实用新型通过由多个圆环吸附筛网筒形成的内部导流层进行导流，反复S型路径延长气流停滞在装置内部的时间，对粉尘的层层吸附捕捉，减少

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215506034 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202121779291.0 (22)申请日 2021.07.29 (73)专利权人合肥亚笙半导体设备科技有限公