压力传感器密封性检测装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于四川
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本实用新型公开了一种压力传感器密封性检测装置，包括台架、检测架、示踪气体收集部件、示踪气体检测部件和排风组件，检测架可沿上下向移动安装于台架；示踪气体收集部件设于检测架，示踪气体收集部件形成有收集腔，收集腔的顶壁形成有连通检测口，收集腔的底壁形成有收集口，收集口用于向下罩设于至基板上方；示踪气体检测部件包括设于检测架的采气部，采气部伸入至连通检测口，用以采集收集腔内的气体；排风组件设于检测架，排风组件用以排出收集腔内的气体，以清除收集腔内的示踪气体，避免收集腔内的示踪气体累积，造成误报、误测，从

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215573616 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202120942714.X (22)申请日 2021.04.30 (73)专利权人武汉飞恩微电子有限公司