半色调掩膜板.pdfVIP

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2023-04-11 发布于四川
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本实用新型提供一种半色调掩膜板，所述半色调掩膜板包括金属遮光图形，所述金属遮光图形包括多个图形部，所述金属遮光图形还包括静电释放导线，至少一对相邻的图形部之间连接有所述静电释放导线，对于至少一对被所述静电释放导线电连接的图形部而言，至少其中一个图形部包括图形部本体和形成在所述图形部本体的边缘处的缺口，所述静电释放导线的端部伸入所述缺口中，并与所述图形部本体电连接。通过半色调掩膜板上的缺口结构，能够降低半色调掩膜板本身的ESD风险，且能改善曝光后显示基板金属图形上的毛刺影响，也降低了多层搭接场景由

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215576092 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202121389409.9 (22)申请日 2021.06.22 (73)专利权人福州京东方光电科技有限公司