一种直拉法生产单晶硅过程中盛放单晶硅掺杂剂的装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于四川
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一种直拉法生产单晶硅过程中盛放单晶硅掺杂剂的装置.pdf

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本实用新型公开了一种直拉法生产单晶硅过程中盛放单晶硅掺杂剂的装置，包括投料筒、坩埚、炉筒、第一投料胶囊、第二投料胶囊和第三投料胶囊，所述投料筒包括卸料板、卸料口，所述第一投料胶囊的内部开设有第一放置空间，所述第一放置空间的上方设置有第一硅棒堵头，所述第二投料胶囊的内部开设有第二放置空间，所述第二放置空间的上方设置有第二硅棒堵头，所述第三投料胶囊由第一硅料腔体和第二硅料腔体组成，所述第一硅料腔体的内部设有第三放置空间。本实用新型中，适用于目前所有直拉法生产单晶硅的单晶炉，并且可根据单晶炉的型号选用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215560793 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202120500211.7 (22)申请日 2021.03.04 (73)专利权人陕西汇德新材料科技有限公司