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本实用新型公开了一种便于压力调节的MO源钢瓶，包括用于承装固体MO源的钢瓶本体，钢瓶本体固定插装有惰性气体进气管、MO源蒸汽出气管，惰性气体进气管包括位于钢瓶本体内部的内进气管段和位于钢瓶本体外部的外进气管段，外进气管段的上端部设有用于连通惰性气体源的惰性气体接头，同时外进气管段的上端部还固定安装有用于调节惰性气体注入压力的第一压力调节波纹阀，第一压力调节波纹阀与外进气管段采用螺纹密封连接；本实用新型可以有效地解决MO源钢瓶中隔膜阀压力调节误差大的问题，提高了MO源钢瓶的进气压力稳定性，并同步提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215569695 U
(45)授权公告日 2022.01.18
(21)申请号 202121149151.5
(22)申请日 2021.05.27
(73)专利权人 常熟制药机械厂有限公司
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