GB/T 30656-2023碳化硅单晶抛光片.pdf

ICS29.045 CCSH 83 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30656 2023 代替 / — GBT30656 2014 碳化硅单晶抛光片 Polishedmonocrstallinesiliconcarbidewafers y 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT30656 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 / — 《 》, / — , 本文件代替 GBT30656 2014碳化硅单晶抛光片 与 GBT30656 2014相比 除结构调整和 , : 编辑性改动外 主要技术变化如下 ) ( , ); 更改了适用范围 见第 章 年版的第 章 a 1 2014 1 ) ( , ); 更改了术语和定义 见第 章 年版的第 章 b 3 2014 3 ) ( ); c 增加了按直径 150.0mm的分类 见 4.2.3 ) ( ); 增加了直径 碳化硅单晶抛光片的技术要求 见第 章 d 150.0mm 5 ) ( ); e 增加了直径 100.0mm半绝缘型碳化硅单晶抛光片的厚度及允许偏差 见 5.2 ) ( , ); f 更改了总厚度变化的要求 见 5.22014年版的4.5 )