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本发明提供了一种分子泵，属于泵体技术领域，包括底座、泵壳、驱动轴、静片及隔离环，其中，泵壳罩设在底座上，泵壳具有用于容纳动片和静片的安装腔，驱动轴转动连接在底座上，驱动轴上沿轴向间隔设置有多个动片，静片分别设置在相邻两个动片之间，隔离环具有若干个，并被轴向压紧于泵壳的安装腔内，以用于卡接固定静片，相邻的两个隔离环之间通过第一密封件密封连接，其一隔离环上设有用于连通隔离环内外两侧的导流通道。本发明提供的分子泵，能够避免气体从隔离环和泵壳之间的间隙反流，从而有利于提升分子泵的极限压缩比。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114593075 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210252980.9
(22)申请日 2022.03.15
(71)申请人 北京中科科仪股份有限公司
地址 1
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