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本实用新型涉及一种大尺寸X射线反射镜干涉拼接测量系统，包括减振平台，减振平台上安装有第一基座、移动装置和第二基座，第一基座的上方固定有干涉仪，移动装置包括安装在位移导轨上的多自由度机械运动平台，多自由度机械运动平台上方固定有被测光学镜和光学反射镜，第二基座的上方固定有自准直仪，且干涉仪、多自由度机械运动平台和自准直仪均与一控制终端通信连接。本实用新型通过设置多自由度机械运动平台，减小干涉拼接测量过程中的随机误差；通过设置高精度角度测量系统，提高最终的测量精度，采用自准直仪系统实现相关角度测量功能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215598336 U
(45)授权公告日 2022.01.21
(21)申请号 202121644002.6
(22)申请日 2021.07.20
(73)专利权人 中国科学院上海应用物理研究所
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用户编号：7160061112000031
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