制备柔性导电微米柱的电容-压阻双模应力传感器的方法.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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制备柔性导电微米柱的电容-压阻双模应力传感器的方法.pdf

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本发明公开了柔性导电微米柱的电容‑压阻双模应力传感器及制备方法，包括上下两组阵列组件，阵列组件包括依次设置的导电微米柱层、柔性信号传导层和柔性导电衬底，两组阵列组件通过导电微米柱层的垂直相对实现相对设置；导电微米柱层包括多个并排设置的微米柱，相邻微米柱之间的间距，与微米柱平均直径的比值1:(1‑10)；垂直相对布置的导电微米柱层的间距，与微米柱平均长度的比值1:(1‑5)；传感器工作模式包括间隙电容式、电阻式和指间电容式，工作模式的适用通过作用于柔性导电衬底的应力调整两组导电微米柱层的间距实现。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114674466 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210295682.8 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人中山大学地址 510275 广