一种立式大型化学气相沉积炉的补气装置.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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一种立式大型化学气相沉积炉的补气装置.pdf

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本实用新型属于碳碳复合材料生产领域，具体涉及一种立式大型化学气相沉积炉的补气装置，包括若干个沿炉体轴向间隔设置在所述沉积炉沉积室侧壁的补气单元，每个补气单元包括若干个沿沉积炉沉积室的周向间隔设置的补气结构，所述补气结构包括补气管和导气管，在补气管上沿轴向间隔设置有若干贯穿补气管管壁朝向沉积室中部的气孔，工作时，炉外气源内碳源气体依次通过导气管和补气管向沉积室内增补碳源气体，使远端的产品也能得到均匀的、满足工艺需求浓度的碳源气体，从而使处于远端的产品在同样时间内获得同样的致密效果，达到沉积室内气氛

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215560658 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202122331625.4 (22)申请日 2021.09.26 (73)专利权人洛阳八佳电气科技股份有限公司