一种含Set/Reset功能的线性磁阻传感器芯片结构.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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一种含Set/Reset功能的线性磁阻传感器芯片结构.pdf

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本实用新型公开了一种含Set/Reset功能的线性磁阻传感器芯片结构，包括硅基体，在硅基体上依次铺设敏感单元层、Barber电极层和Set/Reset线圈层；其中在、Barber电极层与Set/Reset线圈层之间设置钝化层一，在Set/Reset线圈层上方设置钝化层二，本实用新型的磁场线圈采用全平面工艺，避免了螺线圈的三维加工技术，降低了导线的电阻，减小了线圈发热；采用多层膜结构，既能够提升芯片的集成度，拓展芯片的可用功能，在保证芯片测试精度的前提下，又能够有效减小芯片面积，降低芯片生产成本，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215639493 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120717984.0 (22)申请日 2021.04.08 (73)专利权人张文旭地址 61