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本实用新型公开了一种高精度柔性智能传输平台系统，包括：传输平台滑轨，其内部设有若干个定子线圈，所述定子线圈分别独立外接相应可变电源；动子托盘，安装在所述传输平台滑轨的上方、下方和/或侧面，可沿所述传输平台滑轨移动；所述动子托盘靠近所述传输平台滑轨的一侧设有若干个磁极异向交替排列的永磁体；所述动子托盘上设有用于位移测量的编码器标尺；同步伺服控制系统，与所述可变电源连接，用于控制所述可变电源的供电参数；所述同步伺服控制系统包括工业控制器，所述工业控制器作为上位机通过EtherCAT总线与所述可变电源
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215624795 U
(45)授权公告日 2022.01.25
(21)申请号 202121375039.3
(22)申请日 2021.06.21
(73)专利权人 大工科技（上海）有限公司
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