一种制造透射电镜样品的设备.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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一种制造透射电镜样品的设备.pdf

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本实用新型公开了一种制造透射电镜样品的设备，包括底座，底座上设置有多级磨样盘，多级磨样盘相对两侧设置有X轴运动机构，X轴运动机构上设置有Y轴运动机构，Y轴运动机构上设置有Z轴运动机构，Z轴运动机构上安装有夹持机构和激光测距传感器，X轴运动机构1、Y轴运动机构2和Z轴运动机构3均各连接有伺服电机，所述伺服电机和激光测距传感器4都连接在控制器上，采用本实用新型制造透射电镜样品的设备制得的透射样品尺寸精度较高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215640954 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120928493.0 (22)申请日 2021.04.30 (73)专利权人咸