三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置.pdf

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本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置，涉及三氯氢硅合成炉差压变送器吹扫技术领域。三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置，包括三氯氢硅合成炉、差压变送器、电磁阀、过滤减压阀和氮气管，差压变送器通过正压引压管和负压引压管与三氯氢硅合成炉相连，正压引压管和负压引压管上分别通过管路连接一电磁阀，两个电磁阀的另一端口与过滤减压阀相连，过滤减压阀设置在氮气管上；电磁阀的电磁线圈与DCS控制系统电连接。本装置解决了负压侧引压管堵塞问题，保证了测量的准确性、稳定性，节约维护成本，提高工作效率，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215598604 U (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202122102584.1 (22)申请日 2021.09.02 (73)专利权人唐