一种大口径光学元件的离子束加工装置.pdfVIP

下载本文档

4
0
约1.13万字
约 13页
2023-04-14 发布于四川
举报
版权申诉

一种大口径光学元件的离子束加工装置.pdf

1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请涉及离子束加工的技术领域，尤其是涉及一种大口径光学元件的离子束加工装置，包括真空加工舱以及设置于所述真空加工舱内用于对光学元件进行离子束加工的离子源，所述离子源的发射端设置有用于吸附溅射材料的挡板，所述挡板上开设有供离子束通过的通孔，所述挡板表面粗糙度达到纳米量级，所述光学元件设置于所述真空加工舱内的预定位置，所述离子源位于所述光学元件上方且发射端朝向所述光学元件本申请具简化了离子束加工设备且有利于保证产品质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215680604 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202121810366.7 (22)申请日 2021.08.04 (73)专利权人摩高光学科技（佛山）有限公司