吸附装置及芯片检测设备.pdfVIP

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2023-04-14 发布于北京
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吸附装置及芯片检测设备.pdf

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本实用新型涉及一种吸附装置及芯片检测设备，包括固定部、搬运组件、第一驱动装置及吸附模组；其中搬运组件设置于所述固定部，所述搬运组件用于保持能够承载工件的载具；第一驱动装置设置于所述固定部；吸附模组与所述第一驱动装置的输出端连接且由所述第一驱动装置带动靠近/远离所述载具，所述吸附模组包括一个以上的吸附模块，所述吸附模块用于吸附所述工件。本实用新型相较于现有技术中独立设置用于移动载具的搬运组件和用于移动芯片的吸附模组的方式，将搬运组件及吸附模组集成为一个单元，能够提高装置的集成程度，有利于装置小型化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215665866 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202121405157.4 (22)申请日 2021.06.23 (73)专利权人苏州华兴源创科技股份有限公司