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本实用新型公开了一种基于直线电机的高精密大行程复合直线进给单元,包括驱动方向相同的第一平板直线电机和第二平板直线电机;第一平板直线电机包括第一基座,在第一基座上固定有第一定子和第一导轨;第一导轨位于第一定子的两侧;在两个第一导轨上各安装有第一滑块,第一滑块与第一动子固连,第一动子与第一动子座相连;第二平板直线电机包括第二基座,第二基座固定在第一动子座上;在第二基座上固定有第二定子和第二导轨;第二导轨位于第二定子的两侧;在两个第二导轨上各安装有第二滑块,第二滑块与第二动子固连,第二动子与第二动子座
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215659177 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202121904943.9
(22)申请日 2021.08.13
(73)专利权人 山东大学
地址 2
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