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双侧型等离子发生模块以及具有等离子发生模块的净化装置.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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双侧型等离子发生模块以及具有等离子发生模块的净化装置.pdf

    本公开提供一种等离子发生模块，包括：模块外壳；正离子释放器阵列，设置在模块外壳的第一侧并且包括用于释放正离子的多个正离子释放器；以及负离子释放器阵列，设置在模块外壳的第二侧并且用于释放负离子的多个负离子释放器。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215675682 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122094771.X (22)申请日 2021.09.01 (73)专利权人 费勉仪器科技（南京）有限公司

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