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一种显影喷嘴对准系统.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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一种显影喷嘴对准系统.pdf

    本实用新型提供了一种显影喷嘴对准系统，包括：显影喷嘴，与显影液供应组件相连，用于喷涂显影液；晶圆载台，设置于所述显影喷嘴的下方；激光发射器，设置于所述显影喷嘴上，用于向所述晶圆载台发送激光，所述激光的波段为可见光波段；对准标记，设置于所述晶圆载台上，所述激光发射器发出的激光照射在所述对准标记上时，所述显影喷嘴的喷涂点位于所述晶圆载台的中心，通过激光发射器所发射的激光对所述显影喷嘴的位置进行校准，保证所述显影喷嘴的喷涂点位于所述晶圆载台的中心，从而可以对晶圆进行均匀的喷涂，进而提高晶圆的良率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215679040 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122100012.X (22)申请日 2021.08.30 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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