1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种冷却液添加设备及刻蚀系统.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.11万字
  • 约 9页
  • 2023-04-14 发布于四川
  • 举报

一种冷却液添加设备及刻蚀系统.pdf

    本实用新型提供的一种冷却液添加设备及刻蚀系统中，用于向温控装置添加冷却液，所述温控装置包括加液口，所述冷却液添加设备包括：储液桶，用于存储所述冷却液，所述储液桶设置于所述温控装置上，且具有出液口；加液管，第一端通过所述出液口伸入所述储液桶的冷却液内，第二端伸入所述加液口内；气囊，设置于所述加液管上且位于所述加液管的第一端和所述加液管的第二端之间，用于改变所述加液管内的气压，挤压所述气囊，利用虹吸效应进行冷却液的添加，避免使用人工倾倒的方法，防止冷却液在添加过程中洒出，同时节省了人力；使冷却液的添

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215675959 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122086011.4 (22)申请日 2021.08.30 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >