一种电子剥离清洗液试验装置.pdfVIP

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2023-04-14 发布于四川
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一种电子剥离清洗液试验装置.pdf

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本实用新型公开了一种电子剥离清洗液试验装置，涉及剥离清洗液试验技术领域。本实用新型包括底板，底板的顶部设置有试验台，试验台与底板之间设置有调节装置，试验台的顶部设置有剥离清洗液放置盒，剥离清洗液放置盒的内底壁设置有电加热板，剥离清洗液放置盒的侧面设置有温度调节器，温度调节器与电加热板电性连接。本实用新型通过设置试验装置可以带动光阻掩膜在剥离清洗液放置盒内下降，进而可以对光阻掩膜在不同深度的剥离清洗液放置盒内的剥离速率进行试验测试，同时通过温度调节器和电加热板可以对光阻掩膜在不同温度的清洗液内的剥

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215640798 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202122360624.2 (22)申请日 2021.09.28 (73)专利权人丹东华顺电子有限公司