原创力文档- 3
- 0
- 约8.92千字
- 约 9页
- 2023-04-15 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种薄膜传感器，包括基板；位于基板之上的壳体，所述壳体与所述基板之间形成空腔，所述壳体包括将所述空腔与外部连通的连通孔；芯片，位于所述基板之上，且位于所述空腔中；疏水膜，所述疏水膜包覆在所述基板和所述芯片的外表面；以及凝胶，所述凝胶填充于所述空腔中，所述凝胶的上表面高于所述芯片的上表面。本发明提供的薄膜传感器，具有较好的防潮、防尘能力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215726504 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121479386.0 B32B 33/00 (2006.01)
(22)申请日 2
文档评论（0）