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本发明涉及腐蚀液技术领域，特别涉及铜腐蚀液，包括以下组分按照以下质量份制备而成：磷酸70‑80%；硝酸2–3%；乙酸9–11%。所述磷酸主要提供氢离子；当腐蚀完铜后，对铝起钝化保护作用；硝酸配合磷酸能起到很好的腐蚀效果，铜腐蚀更干净；乙酸作为替代老配比中的水，起到缓冲作用；让腐蚀更加均匀和可控。本发明不腐蚀铝、镓等金属层及硅片，只腐蚀铜，且铜腐蚀速率平稳均匀可控，成本低。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115838932 A
(43)申请公布日 2023.03.24
(21)申请号 202211717853.8
(22)申请日 2022.12.30
(71)申请人 江苏晶久微电子材料有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
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