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一种晶圆分选导片机.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种晶圆分选导片机.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆分选导片机，用于对晶圆盒内的晶圆进行分选、校准和导片，包括：机架，所述机架上设置有工作台；校准器，所述校准器固定安装在工作台上，并用于对晶圆进行校准；下料箱，所述下料箱固定安装在工作台上，并用于放置经过校准后的晶圆；开盒装置，所述开盒装置固定安装在机架上，并用于与晶圆盒对接；直线模组，所述直线模组固定安装在机架内；机械手，所述机械手固定安装在直线模组上，并由直线模组带动其做直线位移运动，所述机械手用于将晶圆从晶圆盒中取出并送至校准器，或是将已经过校准的晶圆从校准器中取出送

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215731628 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121849601.1 (22)申请日 2021.08.09 (73)专利权人 韦森特(东莞)科技技术有限公司

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