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- 2023-04-15 发布于北京
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本申请公开了一种固化炉，包括炉体以及至少两组以并联运行方式被使用的增压机构，各组增压机构均包括增压缸，各增压缸分别与气源连通形成吸气回路，并在各吸气回路上设置控制阀，且各增压缸分别与所述炉体的内部连通形成排气回路。本申请的固化炉通过采用并联的至少两组增压机构，使得当处于工作状态的增压机构出现故障时，可以及时切换至备用的增压机构，一方面能够保证固化炉内部压力满足制程，最大程度地排出底部填充胶中的气泡，避免产生孔洞；另一方面能够确保固化生产线连续可靠运行，不用停机。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215695519 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121485436.6
(22)申请日 2021.06.30
(73)专利权人 苏州通富超威半导体有限公司
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