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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型提供的一种石英舟的清洗工装及清洗设备,清洗工装包括:两个侧板、至少两个隔板和底板;侧板和隔板设置在底板的一面,侧板和隔板垂直于底板;侧板和隔板相互交叉连接,在底板的一面形成用于容纳立式石英舟的至少一个清洗槽,在立式石英舟设置在清洗槽中的情况下,立式石英舟的底盘垂直于底板。本实用新型中,由侧板、隔板和底板组成的清洗工装,具有能够容纳立式石英舟的清洗槽,当立式石英舟设置在清洗槽中进行清洗时,立式石英舟的底盘垂直于清洗工装的底板,使得清洗过程中立式石英舟的底盘中不会产生积液,从而提高立式石英
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215696606 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202120552048.9
(22)申请日 2021.03.17
(73)专利权人 陕西隆基乐叶光伏科技有限公司
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