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一种新型气相沉积炉加热场.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种新型气相沉积炉加热场.pdf

    一种新型气相沉积炉加热场，包括隔热炉体、隔热炉盖及石墨加热器，石墨加热器设置于隔热炉体内，石墨加热器包括上石墨极板、下石墨极板及石墨连接杆，上石墨极板及下石墨极板均为弧形结构，下石墨极板有数个，上石墨极板的个数为下石墨极板的两倍，数个下石墨极板可组成一个圆形的加热环，下石墨极板上均匀固定设置有数根石墨连接杆，上石墨极板均匀固定于石墨连接杆的另一端，数个上石墨极板也可组成一个圆形的加热环，上石墨极板的上端面上均开设有一个连接筒，连接筒内均连接有一根电极杆，隔热炉体为上端开口的中空圆柱形腔体类结构，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668195 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122309551.4 (22)申请日 2021.09.24 (73)专利权人 江西昊军智能装备有限公司

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