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- 2023-04-15 发布于四川
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本申请实施例提供一种用于化学机械研磨工艺的保持环、研磨头及研磨装置。所述保持环上开设有多个沟槽，所述沟槽贯穿所述保持环的内、外侧壁；在所述保持环的外侧壁上设置有用于监测所述沟槽深度的刻线。本申请实施例提供的用于化学机械研磨工艺的保持环，在保持环的外侧壁上设置有刻线，用于监测所述沟槽深度，以便于在研磨进行过程中，实时监测沟槽深度是否满足研磨工艺的需求，以便及时更换保持环，提高化学机械研磨的效率和研磨效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215700778 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121785670.0
(22)申请日 2021.08.02
(73)专利权人 长江存储科技有限责任公司
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