一种坩埚旋转下降法生长氟化物晶体的装置.pdfVIP

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2023-04-15 发布于四川
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一种坩埚旋转下降法生长氟化物晶体的装置.pdf

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一种坩埚旋转下降法生长氟化物晶体的装置，包括炉体，炉体内腔装有底部保温屏，底部保温屏上安装有下圆周保温屏和隔热环，隔热环上方装有上圆周保温屏和顶部保温屏；坩埚支柱杆穿过炉体，坩埚支柱杆的上端固定安装有坩埚，上腔体内固定安装有发热体；炉体底部通过进气口与惰性气体罐和还原性气体罐相连接，炉体上方侧表面设置有出气口。其方法包括热场安装和装料、抽真空并充入保护气氛、升温化料、晶体生长和降温退火。本实用新型通过不断充入惰性气体加还原性气体的混合气，从而既保证在氟化物生长过程中能够有效去除原料中含氧杂质，也

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713512 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121212232.5 (22)申请日 2021.06.02 (73)专利权人上海德硅凯氟光电科技有限公司