一种芯片制造工艺用模块化芯片固定架.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种芯片制造工艺用模块化芯片固定架.pdf

本实用新型属于芯片制造技术领域,具体涉及一种芯片制造工艺用模块化芯片固定架,包括固定板,所述固定板的两侧表面固定有连接柱,所述连接柱的相对端面上固定有滑槽,两个所述连接柱之间设置有安装板,所述安装板靠近所述固定板的一侧表面固定有减震板,所述减震板与安装板的两端设置有与滑槽相适配的滑轮,且所述减震板与安装板的两端通过滑轮皆与滑槽滑动连接;通过设置第一减震弹簧、第二减震弹簧对芯片放置槽进行减震,同时固定架震动产生的冲击力会使得减震板与安装板在滑槽上滑动;通过固定杆在固定板上的滑动方便对冲击力进行缓冲

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215720489 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121611019.1 (22)申请日 2021.07.15 (73)专利权人 安徽海之量储存设备有限公司

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