1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

惯性传感器.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.19万字
  • 约 14页
  • 2023-04-15 发布于四川
  • 举报

惯性传感器.pdf

    本申请提供了一种惯性传感器，解决了现有技术中批量生产的惯性传感器的性能均一性较差和电互联难度高的问题。其中，惯性传感器包括：可动元件，可动元件包括叠置的第一衬底和第一导电层，第一衬底的材料为单晶材料。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215711766 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121590829.3 (22)申请日 2021.07.13 (73)专利权人 苏州敏芯微电子技术股份有限公

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >