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一种晶片抛光设备的装载装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种晶片抛光设备的装载装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶片抛光设备的装载装置，涉及半导体材料加工运载技术领域，目的在于提供一种装载方便，操作简单，精简运行程序，提高加工效率的晶片抛光设备的装载装置，其技术要点是所述支撑座的顶部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴传动连接有转动件，所述转动件的另一端与所述固定座的侧面转动连接，且转动件的表面设有电力气缸，技术效果是本装置先利用电力气缸运行带动连接件和陶瓷盘下降，使得陶瓷盘和涂胶烘干后的晶片贴合，对晶片进行固定，再利用驱动电机通电带动转动件运转，保证电力气缸转动至转动件的上方，从

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215700701 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121776813.1 B24B 41/00 (2006.01) (22)申请日 2

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