原创力文档- 0
- 0
- 约6.17千字
- 约 6页
- 2023-04-15 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种测试接触状态的检测装置，包括测试机、测试线、接头和晶圆的探针板，接头与探针板连接，测试机上设有第一针脚和第二针脚，所述接头上设有与所述第一针脚相应的第一安全针脚，与所述第二针脚相应的第二安全针脚，所述测试线设有第一连接线和第二连接线，所述第一连接线两端分别与第一安全针脚和第一针脚连接，所述第二连接线两端分别与第二安全针脚和第二针脚连接，所述第一安全针脚和第二安全针脚短接或通过电阻连接。测试机向测试针脚施加电压时，可以检测到相应的电流，则可以说明测试机、测试线、接头之间形成稳定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215728743 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121722787.4
(22)申请日 2021.07.28
(73)专利权人 绍兴中芯集成电路制造股份有限
文档评论（0）