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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型公开了一种掩膜版涂胶装置，包括连接有旋转装置的涂胶平台，所述涂胶平台上设置有用于放置待涂胶掩膜版且连接有升降装置的升降板，所述升降板上方设置有可升降的涂胶盖板；在涂胶时，所述涂胶盖板下降至所述涂胶平台上并覆盖在待涂胶掩膜版上方，随所述涂胶平台和待涂胶掩膜版同步旋转；本实用新型的掩膜版涂胶装置，通过真空吸附的方法实现对掩膜版进行固定，然后利用旋转的方式实现涂胶，保障待涂胶掩膜版的稳定性，提高涂布膜厚的均一性；在待涂胶掩膜版上设置涂胶盖板，缩小待涂胶掩膜版上部空间大小，改善气流，避免出现大
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215656162 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202122351432.5
(22)申请日 2021.09.27
(73)专利权人 合肥清溢光电有限公司
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