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气体扩散器和化学气相沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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气体扩散器和化学气相沉积设备.pdf

    本实用新型提供一种气体扩散器及化学气相沉积设备，气体扩散器包括相对设置的第一工作表面和第二工作表面；气体扩散器上开设有多个贯通的气体传输通道，气体传输通道包括依次连通的锥形槽、过渡孔和微孔，锥形槽的开孔端位于气体扩散器的第一工作表面，微孔的开孔区域位于气体扩散器的第二工作表面；每个气体传输通道的锥形槽、过渡孔和微孔共用中心轴。在应用化学气相沉积时，狭长的微孔控制气体流导，在一定的气体流量与压力范围内控制气体扩散器微孔气体流量的均匀，等离子体形成的微颗粒物远小于过渡孔直径，防止微孔被反应物颗粒堵塞

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713359 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121524831.0 (22)申请日 2021.07.06 (73)专利权人 苏

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