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一种用于半导体有机废气的净化装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种用于半导体有机废气的净化装置.pdf

    本实用新型公开一种用于半导体有机废气的净化装置，包括第一吸收筒和与第一吸收筒连通的第二分解箱，所述第一吸收筒的中心固定有密封柱，所述第一吸收筒的内壁和密封柱的外壁之间固定有若干分隔组件，还包括密封隔片，所述密封隔片将其中一个扇环状腔室分隔成两个子腔室，其中一个子腔室的底部开设有入风口，另一个子腔室的顶部开设有出风口，所述分隔组件内设有吸附材料；所述第二分解箱的内壁上固定有UV灯管。本实用新型结构简单，半导体生产时产生的有机废气通过入风口一次经过扇环状腔室，扇环状腔室之间的盒体内放置有活性炭吸附袋

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215654547 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122160286.8 (22)申请日 2021.09.07 (73)专利权人 深圳市利微成科技有限公司

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