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一种可大幅度调节冷却能力的晶圆加热器.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种可大幅度调节冷却能力的晶圆加热器.pdf

    本实用新型公开了一种可大幅度调节冷却能力的晶圆加热器，包括上板，上板内孔顶面嵌设有铠装加热管，上板中部设置有测温热电偶；所述上板内孔里从上向下依次设置有盖板、冷却板和支撑轴；支撑轴上轴肩A卡设在上板下端，下轴肩B端面均匀设置有多个导向块；冷却板包括冷却管安装板和石墨匀热层上盖，冷却管安装板内设置有冷却管路，石墨匀热层上盖内设置有石墨匀热层，冷却板中部均布有多个调节螺栓；调节螺栓向下穿过支撑轴内孔和导向块卡槽，多个调节螺栓由固定块固定。本实用新型结构巧妙合理，方便调节冷却板与加热管距离，适用于多种

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713366 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121630282.5 (22)申请日 2021.07.19 (73)专利权人 靖

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