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- 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型公开了一种TFT测试设备，特别涉及一种多腔室TFT光电稳定性测试设备，包括：腔室测试主体，所述腔室测试主体包括箱体，所述箱体底部设置有托板，所述托板上设置有变温台，所述箱体侧面开设有长条形通孔，所述通孔内相对滑动的设置有机械手。本装置可以完成对TFT片的完整高低温环境的电性能测试，且本装置可以手动调节测试样片前后左右位置，使用方便；本装置的显微镜配有100mm气动升降，在测试过程中可以对样片进行观察监控，使用效果好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215728600 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122052590.0 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2021
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