1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机.pdfVIP

  • 8
  • 0
  • 约1.08万字
  • 约 12页
  • 2023-04-16 发布于四川
  • 举报

一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机.pdf

    本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机。该废弃光刻胶排放装置包括：积液盒，所述积液盒内设置有用于装设废弃光刻胶的腔室，所述积液盒上设置有进液口和排液口，所述进液口与所述腔室连通，用于收集所述废弃光刻胶，所述排液口与所述腔室连通，用于排出所述废弃光刻胶；排液管道，所述排液管道与所述排液口连通，用于排放所述废弃光刻胶；若干个支管，设置在所述排液管道的侧壁上，若干个所述支管分别与所述排液管道连通，用于输送光刻胶溶解剂。本实用新型中，通过设置支管喷洒溶解剂对排液管道中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215729282 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122151968.2 (22)申请日 2021.09.07 (73)专利权人 上海众鸿电子科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >