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清扫装置.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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清扫装置.pdf

    本实用新型公开了一种清扫装置，清扫装置包括支架、清扫组件、行走组件和第一驱动组件，清扫组件设在支架上，且用于清扫副室的壁面，行走组件设在支架上且适于支撑在副室的壁面上以沿副室的轴向运动，行走组件包括多组行走轮组，多组行走轮组沿支架的周向设置，行走轮组包括沿支架的轴向间隔设置的多个行走轮，在支架的径向上，每个行走轮与支架之间的径向距离可分别改变，第一驱动组件用于驱动至少一组行走轮组运动，以使多组行走轮组沿副室的壁面滚动。本实用新型实施例的清扫装置，可自动清扫单晶炉的副室，可以实现清扫不同尺寸的单晶

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713519 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122204007.3 (22)申请日 2021.09.10 (73)专利权人 徐州鑫晶半导体科技有限公司

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